產品介紹

STARPOWER-PULSE1/PULSE2脈沖電弧電源，是針對真空鍍膜行業設計研發的高品質離子鍍脈沖電弧電源。
STARPOWER-PULSE1/PULSE2脈沖弧解決方案將陰極電弧工藝的精度和生產能力提升到一個新高度。高能量的電弧放電、快速的把材料蒸發和高能離子在提高陰極電弧沉積效率的同時也會造成潛在的不穩定。STARPOWER-PULSE2電弧電源輸出電流最高可達400安培，憑借其強大的功率和工藝控制能力，提供出色的等離子電離、離子能量和生產能力。
脈沖功能增加了陰極電弧的受控程度，且得益于峰值大電流，從而不會影響膜沉積速率。憑借高能離子，陰極電弧沉積通常可制備致密、耐用、均勻和附著力好的薄膜。盡管如此，微粒子摻雜（液滴）可能會干擾這一工藝。此外，離子可能對基底施加過大壓力，造成膜應力和附著力問題。STARPOWER-PULSE電弧電源可以調節影響基底的離子能量，控制關鍵的膜層性能，如注入、密度和附著力。
陰極電弧產生的大量熱能會破壞靶材激發質量。脈沖功能通過在脈沖關斷時的冷卻效果從而使靶材激發均勻。同時，通過限制陰極電弧運動，可以抑制損害性陰極斑點生長。

產品參數